ITO靶材：资源优势明显 工艺研发取得突破

随着平板显示产业的快速发展，一个以平板显示为主流的数字显示时代已经来临。在这样的大背景下，作为支撑的液晶材料的发展，尤其是本地化配套成为业内人士关注的焦点，而其中关键材料之一的ITO(掺锡氧化铟，In-diumTinOxide)靶材更是吸引着材料厂商的目光。

发展ITO靶材资源得天独厚

大连交通大学光电材料与器件研究所所长柴卫平介绍说，在目前的TCO(透明导电氧化物镀膜玻璃)材料中ITO材料有很多优点，诸如有最佳的导电性(电阻率低)；在可见光波段有良好的透过率；良好的耐候性和环境稳定性；大面积磁控溅射镀膜工艺成熟；刻蚀容易，成本低等等，因此成为高级显示器产业不可或缺且无法替代的透明电极材料。ITO靶材作为重要的光电信息材料，主要应用于平板显示器产业，如液晶显示(LCD)、等离子显示(PDP)、有机电致发光显示(OLED)等。

近年来液晶显示等平板显示的快速发展对ITO靶材的需求量不断增长，也对ITO靶材提出了更高的要求，大尺寸、高密度、高纯度、更稳定的镀膜性能是ITO靶材的发展方向。“2010年随着大尺寸面板生产线的投产，对高品质ITO靶材的需求也将大幅增长，开发国产高品质ITO靶材，对打造相对完整的平板彩电产业链，摆脱这一关键材料依赖进口的局面，具有非常重要的意义。”柴卫平说。

在采访中记者了解到，中国是全球最大的金属铟生产国，发展ITO靶材产业具有得天独厚的资源优势。中色(宁夏)东方集团有限公司高级工程师张红梅表示，近年来随着全球平板显示产业中心逐步向中国转移，以及政府对液晶显示产业重视力度的加大，国内平板显示用ITO靶材的需求量也将逐步增长，这将是ITO靶材产业大规模发展的良好契机。因此，国内各靶材生产厂家正在加快对高性能ITO靶材的研发速度。她表示，随着国内ITO靶材高端生产技术的逐渐成熟及规模化生产，国内高端显示器用ITO靶材产品长期依赖进口的局面将逐步改变。“这不仅有利于提高中国ITO靶材行业的整体水平，而且对完善和延伸中国的液晶显示产业和铟产业链有着非常重大意义。”张红梅强调说。

国内ITO靶材技术有突破

据介绍，目前高端显示器用ITO靶材基本采用烧结工艺生产，因此，自2001年起，国内原有的ITO靶材制造商及金属铟供应商开始通过技术攻关或技术引进，掌握该技术，以实现产业化。

从2006年起广西晶联公司、上海高展公司、中色(宁夏)东方集团公司、株洲冶炼集团、柳州华锡集团有限责任公司等相继展开对气氛烧结技术的研发及产业化工作。由于烧结工艺对粉末性能、设备，及大尺寸靶材的成形方式要求较高，靶材产品上线检测成本高，检测周期较长，目前大部分厂家仍处于研发阶段或仅有少量产品进入市场。

张红梅告诉《中国电子报》记者，中色(宁夏)东方集团公司在2008年年中，已经基本掌握了ITO靶材的烧结工艺，现可生产出300mm×600mm×(6～10)mm，相对密度≥99%%，稳定在99.5%%左右的大尺寸、高密度ITO烧结靶材。经过德国贺利士公司、深圳南玻镀膜公司、蚌埠华益镀膜公司等用户试用，各项性能指标均达到或接近日本日矿和韩国三星康宁靶材水平。

目前，该公司已建成一条 5吨/年气氛烧结ITO靶材中试线，产品已开始销往国内外多家公司。张红梅表示，近两年国内对平板显示产业特别是液晶产业的支持力度在不断加大，中色(宁夏)东方集团公司预借此时机，加大对ITO靶材产业的投资力度，计划在未来几年建成年产200吨的ITO靶材生产线，并逐步完善相关产业链，如废靶回收、靶材焊接等生产线的建设。

除此之外，大连交通大学光电材料研究所柴卫平教授在ITO靶材生产工艺研究与生产实践中掌握了大量的试验数据和第一手资料，创造出了一整套新的生产工艺，使ITO靶材生产工艺研究有了新的突破。它区别于传统的高等静压法，在成形、烧结的工艺上都做了彻底的更新。由于采用一种崭新的制造方法，生产过程无任何酸、碱等化学物质的介入，因此对环境无任何污染，而且易实现自动化、规模化。可以从根本上解决目前冷等静压法生产ITO靶材存在的低密度问题，达到了ITO靶材单相结构、相对密度大于99.7%%，高于国际标准99.5%%的世界领先水平。利用这种方法，可以制作出于高端平板显示器件要求的靶材。

除了企业自身的努力外，国家的政策支持也是发展国内ITO靶材必不可少的条件。长沙壹纳光电材料有限责任公司技术总监陈明飞告诉记者，作为生产高端ITO靶材的国内生产商来说，提高ITO靶材的退税率是对具有高端ITO产品出口企业的最大支持，也是国家资源最公平的分配。