四十五所：超声扫描显微镜填补空白

SSJ-100超声扫描显微镜

制绒清洗设备

创新是企业发展的必由之路。在国内半导体专用设备领域享有很高声誉的中国电子科技集团公司第四十五研究所凭借自身多年的技术积累，不断创新，他们研发的SSJ-100超声扫描显微镜荣获“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”奖。

超声扫描显微镜拥有自主知识产权

四十五所是国内从事半导体专用设备技术、整机系统和应用工艺研发与生产制造的专业化科研生产单位，拥有专业的研发团队及加工技术，在微电子学、精密光学、计算机应用、自动控制、精密机械及系统工程等诸多技术应用方面居国内领先地位。该所副所长裴二章介绍说，四十五所是国内唯一可提供投影光刻机整机产品、开展整线服务的企业，其研制的产品涉及4大领域10大门类100多个品种，现已形成以光刻机为龙头，晶圆加工设备、芯片封装设备及电子元件设备等门类齐全、系列配套的产品体系。
在多年积淀的技术基础上，四十五所厚积薄发，近几年在太阳能、LED、器件关键封装等半导体专用设备领域都有新品推出，SSJ-100超声扫描显微镜就是其中之一。
四十五所研发的超声扫描显微镜是一种离线的检测分析设备，在失效分析、工艺过程开发、关键生产工序的监控及小批量产品检测方面有很大的优势，填补了国内空白，并且在各类超声图像的构建与分析、超声发射接收装置、聚焦承片装置等多方面拥有相关专利及自主知识产权的核心技术。该产品可用于各类半导体器件封装如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等内部损伤及不连续性等各种缺陷的无损检测及可视化分析，并可用于MEMS的内部无损检测、制造工艺分析以及陶瓷、玻璃、金属、塑料等各种材料的特征、特性分析。相对于X射线的无损检测，超声扫描显微镜可以完整反映器件内部粘接层、填充层、结合层等各方面的内部缺陷，作为无损检测的新一代技术，它拥有不可替代的优势。
裴二章表示，经过四十五所倾力技术研发及市场推广，SSJ-100已拥有丰富的实际检测经验及广泛的用户基础，并以良好的技术支持切实为用户解决问题，在与国外同类产品的竞标中获得了用户的认可，受到了众多用户的好评。该产品不但在技术上成为用户产品生产的可靠保障，而且真正降低了国内用户的生产成本。
“为了使新产品的连续性更好，我们后续将开发匹配批量生产的在线式高速超声扫描显微镜，在保证分辨率和检测精度的情况下，适应生产线的速度，以实现对产品的完全检测。”裴二章说。

多管齐下产品涉及众多领域

SSJ-100超声扫描显微镜是四十五所近几年来新产品自主研发和技术创新的缩影，在半导体材料加工、集成电路、分立器件、太阳能光伏、LED及特种器件制造等领域，四十五拥有自主研发、生产及产品设备配套能力。
裴二章说，面对下游产业的萎缩，四十五所敢于应对危机，勇于创新，以提高设备技术水平，掌握市场主动权。围绕大尺寸圆片级晶圆封装、高亮度发光二极管、太阳能光伏、集成电路制造和半导体封装等产业，四十五所进行了新产品开发、产品技术升级和换代。目前，该所已有多项新产品推向市场，如应用于12英寸晶圆封装的清洗、电镀、刻蚀、显影、剥离、减薄、划片、测试设备等；应用于太阳能光伏领域的大尺寸多线切割机、单晶及多晶全自动制绒机、多晶大生产用156mm高效半自动印刷机、全自动印刷机、600片大容量清洗甩干机等；应用于半导体前后道工序生产设备的单片腐蚀清洗机、晶圆凸点电镀系统；应用于LED生产的单面抛光机、全自动分选捡片机、多圆片平面式固晶机、半自动共晶焊线机以及应用于PCB生产的AOI设备等。在厚膜混合集成电路制造领域，四十五所能够提供从图形印刷到烘干烧结等关键生产设备的生产制造线。另外，该所的高速全自动键合机预计今年下半年推向市场；大功率激光划片机、飞针测试系统和超声波检测仪等已投入使用。
在LTCC的生产制程中，四十五所的切片机、JHQ-800激光划切机、WY-267精密电子网版印刷机、自动光学检测系统、飞针测试系统、MCM-100声学扫描检测系统等设备，已实现全线设备国产化，替代了进口。