设备业：立足国内市场 培育新增长点

中国电子专用设备工业协会副理事长 金存忠

图为太阳能电池专用设备总装厂房

电子专用设备是重大装备制造业的重要分支，是电子信息产品生产技术和工艺技术的高度融合，处于电子信息产业链最高端。电子专用设备产业基础性强、关联度高，是半导体产业中技术难度最大、附加值和进入门槛最高的领域，决定着一个国家或地区电子信息产品制造业的整体水平，也是电子信息产业综合实力的重要标志。

“十一五”回顾
·电子专用设备国内市场环境不断优化
·我国企业自主创新能力仍然薄弱
·国产设备可靠性仍存在问题

政策扶持力度加大

“十一五”期间，我国电子专用设备产业得到快速发展，销售收入预计年均增长率达到22%%左右。由于受到国际金融危机的影响，虽然没有能达到电子专用设备“十一五”专项规划的发展速度(25%%)，但仍然是电子信息产业中增长较快的行业之一。根据国家统计局提供的数据，2009年我国电子专用设备产业实现销售收入1000亿元，占当年电子信息产业总销售收入的2%%。
“十一五”期间在光伏产业市场的推动下，我国晶硅太阳能电池设备年均增长率达到49.8%%，成为电子专用设备各类产品中发展最快、也是在电子专用设备产业中占比重最大的一类产品。
在电子专用设备领域，我国的产业政策得到有效贯彻，市场环境不断优化。
2008年4月23日国务院审议并原则通过“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(02专项)。集成电路关键设备的研发从此进入全面实施阶段。该专项的实施，不仅将打破我国高端集成电路设备完全依赖进口的状况，而且还将带动我国电子专用设备技术的提升和结构的调整。
2006年6月，国务院常务会议通过《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》，并将集成电路关键设备、新型平板显示器件生产设备、电子元器件生产设备、无铅工艺的整机装联设备列入了国家重大技术装备中，加大了政策支持和引导力度，鼓励国产重大技术装备订购和使用，为其创造了有利的市场环境。

大企业集团初步形成

在“十一五”期间，我国电子专用设备领域的大企业集团初步形成。以销售收入计，行业10强入围的门槛从2006年的1.89亿元增加到2009年的3.13亿元；行业十强2010年利税总额将超过10亿元；到2010年底，预计电子专用设备销售收入超过10亿元的企业有两家。
与此同时，企业的自主研发进程加快，以企业为主体的创新体系初步建立。“十一五”以来，行业内主要企业通过吸收国内外的高科技人才，加强与高校、科研单位的合作，在关键设备和开发中避开已有的国外专利，开发出一批技术含量高、性能稳定、具有自主知识产权的产品，初步建立起了以企业为主体的技术创新体系。
在太阳能光伏领域，具有自主知识产权的晶体硅太阳能电池生产线设备基本实现了产业化，并可承担“交钥匙”工程。不仅使该领域专用设备产业快速增长，也大大推动了我国光伏产业的发展。
在集成电路芯片生产领域，关键技术取得突破。在国家863计划和02专项的支持下，一批具有自主知识产权的集成电路设备进入了大生产线，并实现了产业化。其中包括：90/65纳米介质刻蚀机、100纳米高密度等离子体刻蚀机、大角度离子注入机、8英寸立式扩散炉、8英寸匀胶显影设备、45纳米12英寸单片清洗设备和130纳米级集成电路光掩模清洗设备。
无铅焊接设备产业化为低碳经济作出了贡献。在“十一五”期间，经过不断创新，使得我国目前的无铅焊接设备达到了国际先进水平，成为我国SMT设备市场中最具竞争力的产品。

自主创新能力仍待增强

从目前的情况看，我国电子专用设备产业仍存在一些问题。
2009年我国电子专用设备产业销售收入仅占我国电子信息产业总销售收入的2%%，这和我国电子信息产品生产大国的地位是不相称的，特别是集成电路设备、平板显示器设备、发光二极管设备和表面贴装设备中的关键设备大部分仍然需要依赖进口，这也将是我国走向电子强国的一大障碍。
我国企业自主创新的能力薄弱，高端新设备开发难度大。目前电子专用设备的开发主要依靠消化吸收国外先进的设备，避开国外的设备专利，这不仅增加了新设备开发的难度，而且也很难超过国外先进设备的水平。
我国成套生产线提供能力尚显不足。在“十一五”期间，我国晶体硅太阳能电池生产线设备除个别设备需要引进外，大部分设备已经实现国产化，并且可以承担成套生产线的“交钥匙”工程，使我国太阳能电池设备在“十一五”期间得到了快速的发展。不过，集成电路、平板显示器、发光二极管等生产线设备，虽然有些设备也进入了生产线，但是大部分生产线设备还需依靠进口，并且国产设备与进口设备在生产工艺上的配合，也成为难点。因此，这些设备的推广进展较慢。
国产设备有的性价比虽高，但与国外先进设备相比，普遍存在可靠性较低的问题。在通常情况下，国产设备大的故障不多，但小的故障不少。提高设备可靠性是我国电子专用设备发展的当务之急。
设备的开发与产品的制造工艺脱节，影响了新产品产业化的进程。当前，很多新设备开发必须依靠用户提供生产工艺来配合，而一般用户不愿意为新开发的设备做这种试验，或者会提出很严格的条件，使设备产业化的进程缓慢。

“十二五”思路
·“十二五”期间电子专用设备销售收入年均增长率将保持20%%
·扩大内需是拉动我国电子专用设备产业最有效的措施
·企业应加大研发投入，加快高端人才培养和引进

国内市占率力争30%%

在“十二五”期间，电子专用设备产业应着眼于优化产业结构，着力加强自主创新，继续扩大国内市场占有率，为我国电子信息产业的发展提供有力支撑，为实现电子强国目标奠定坚实的基础。
同时，电子专用设备产业应明确其发展思路。首先，要走市场化发展道路，推动大企业的发展；其次，要广泛吸引人才，加强以企业为主体的自主创新体系建设；再次，要培育新的竞争优势和新的增长点，不断调整优化产业结构；最后，还要推进设备节能降耗，促进电子产品的绿色制造。
在“十二五”期间，电子专用设备产业销售收入将保持年均20%%的增长速度，利税也将保持同步增长。就市场占有率而言，到“十二五”末，电子专用设备国内市场占有率争取达到30%%左右。其中：太阳能电池设备达到90%%；片式元件设备、净化设备、环境试验设备达到80%%；LED设备、表面贴装设备达到30%%；集成电路设备、LCD设备争取达到10%%。在技术创新方面，到“十二五”末，以企业为主体的科技创新体系应基本形成，争取将电子专用设备产业与国际先进水平的整体相对差距缩短到5年。其中：晶硅太阳能电池设备将达到国际先进水平；表面贴装设备除自动贴片机外，其他设备也将达到国际先进水平；集成电路后封装设备、LCD后工序设备、LED设备(除MOCVD外)、片式元件设备、净化设备、环境试验设备将接近国际先进水平。到“十二五”末，培育5家左右电子专用设备年销售收入超过10亿元并具有国际竞争力的大企业。

65纳米设备应实现产业化

针对不同的应用领域，电子专用设备也应有不同的发展重点。
在集成电路领域，设备的发展重点应包括：8英寸90纳米集成电路可以交钥匙的生产线设备，12英寸65纳米集成电路关键设备的产业化，8英寸半导体级单晶生长、切割、磨片、抛光设备产业化，12英寸半导体级单晶生长设备。
在太阳能电池芯片生产领域，设备的发展重点应包括：8～12英寸太阳能级多晶硅、单晶硅的生长，切割、加工设备产业化，全自动晶硅太阳能电池片生产线设备，铜铟镓硒薄膜太阳能生产设备。
在高亮度LED领域，设备的发展重点应包括：芯片衬底单晶生长、切割、磨片、抛光设备，芯片生产线设备和后封装设备。
在新型元件领域，设备的发展重点应包括：高性能稀土永磁元件生产设备、高储能锂离子电池生产设备、金属化超薄膜电力电容器生产设备、超小型片式元件生产设备和高密度印制电路板生产设备。
在表面贴装设备领域，则应重点发展高精密钢网自动印刷机，高速、多功能自动贴片机，无铅再流焊机以及高精度光学检测设备。
在“十二五”期间，我国电子专用设备的市场主要在国内，因此扩大内需是拉动我国电子专用设备产业最有效的措施。如：加快太阳能电站建设的进程，改变中国光伏业主要依赖国外市场的被动局面，这将推动中国半导体设备的发展。
企业应加大研发投入，加快高端人才培养和引进，进一步完善以企业为主体的创新体系，大力提高自主创新能力。同时，要关注市场变化，加快调整产品结构。
设备制造企业要加快产品生产试验线和实验室的建设，实现设备制造企业在提供设备的同时可以提供产品的先进制造工艺。

（责任编辑：落雪）