填补国内空白 建设世界一流装备制造企业

赵晋荣总裁

凭借强烈的民族责任感、敏锐的市场洞察力、过人的胆识和非凡的气魄，赵晋荣带领北方微电子完成市场化改革和战略转型，领导企业在LED产业的精准布局和持续发展，使北方微电子迅速成为LED产业装备领域的标志性企业。

赵晋荣，毕业于西安电子科技大学，并获得中欧国际工商学院EMBA硕士学位，教授级高工，历任北京建中机器厂副厂长兼总工程师、北京七星华创电子股份有限公司副总裁，现任北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子)总裁，担任国家“十五”863计划“100nm高密度等离子刻蚀机”项目总设计师、“十一五”和“十二五”国家02科技重大专项等离子刻蚀机项目负责人。

日前，在中国光学光电子行业协会光电器件分会和中国电子报社共同发起的“2012年度中国LED行业推动奖暨年度系列人物评选”活动中，北方微电子总裁赵晋荣被评为“2012年度LED行业最具影响力企业家”。本报记者针对北方微电子的企业发展、科技创新、产品研发等问题与赵晋荣进行了深入的交流。

自主研发 打造高端装备制造企业

北方微电子拥有国内领先的工艺研发实验室和全套的工艺检测设备。

北方微电子成立于2001年10月，作为国内首家将自主集成电路高端装备应用于大生产线的本土装备制造企业，公司打造了一支由众多海外归国专家、留学回国人员和国内专业人才组成的近500人的技术团队;形成了以薄膜工艺、表面材料工程、射频等离子体、自动化及软件、超高真空为基础的核心技术优势;成功开发了等离子刻蚀机、物理气相沉积、化学气相沉积等系列高端工艺设备，并已广泛应用于集成电路、半导体照明、微机电系统、先进封装、功率半导体、光通信及化合物半导体等领域。

公司主要产品包括集成电路领域8/12英寸高密度等离子硅刻蚀机;半导体照明领域ELEDER330
ICP刻蚀机和iTops透明电极溅射沉积系统;适用于MEMS、TSV、IGBT、光波导等领域的DSE 200深硅等离子刻蚀机、GSE
200通用型等离子刻蚀机和Polaris硅通孔溅射沉积设备等。

作为一家快速崛起的微电子设备制造商，在赵晋荣的带领下，北方微电子公司依托本地化的制造基础和便捷服务、国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件和畅通的零部件供应渠道，专注于为集成电路和半导体照明等泛半导体领域企业提供国际先进水平的设备和工艺解决方案。

赵晋荣向记者介绍，北方微电子拥有国内领先的工艺研发实验室和全套的工艺检测设备，公司位于北京经济技术开发区的生产基地占地10万平方米，其中超净厂房13000平方米，设置了专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及微电子装备净化生产组装车间。

目前，北方微电子已通过法国BV公司的ISO9001质量管理体系、ISO14001环境管理体系和OHSAS18001职业安全卫生管理体系认证。主要产品获得了德国TUV公司CE、SEMI
S2/S8产品安全和人体工程学认证证书。

不仅如此，北方微电子还建立了完善的客户服务体系，在北京、上海、合肥、芜湖、西安、东莞以及台湾新竹等地的服务中心配备有客户服务工程师，并为客户提供量身定做的培训服务和及时快捷的备品备件支持。

精准布局 实现企业可持续发展

赵晋荣领导企业在LED产业的精准布局和持续发展，使公司迅速成为LED产业装备领域的标志性企业。

在北方微电子担任总裁期间，赵晋荣领导的管理团队在积极推动国家项目攻关的同时，也全力促进设备产品的市场化开发和产业化进程，尤其是LED领域的高端装备获得了较大的市场化成果。

“宝剑锋从磨砺出，梅花香自苦寒来。”这是赵晋荣的座右铭。赵晋荣拥有20余年的半导体设备技术开发、市场营销以及产品战略发展管理工作经验，凭借在完成国家02重大专项集成电路设备与成套工艺项目中的突出贡献获得了多项奖励，包括国家科技进步二等奖、北京市科学技术一等奖、北京市百千万人才工程，并于2010年获得科技部颁发的“十一五国家科技计划执行突出贡献奖”，他带领北方微电子团队建立起我国第一个8英寸90纳米刻蚀工艺实验室和国际先进的高频等离子体实验室，开发了一整套先进的设计、采购加工、装配调试及工艺研发的标准化体系，领导开发了多项集成电路、LED、太阳能光伏领域的高端制造设备，为我国高端微电子装备的自主研发奠定了雄厚基础。

凭借强烈的民族责任感、敏锐的市场洞察力、过人的胆识和非凡的气魄，赵晋荣带领北方微电子完成市场化改革和战略转型，领导企业在LED产业的精准布局和持续发展，使北方微电子迅速成为LED产业装备领域的标志性企业，并在市场上取得巨大成功。

在赵晋荣的带领下，北方微电子已造就了一支技术精湛、朝气蓬勃、敢于挑战的研发团队，创建了一个国际先进的研发和管理平台，建立了一整套符合市场化、国际化的公司运行体制。

排除万难 填补LED刻蚀机国内空白

自主研发的ELEDER330 LED刻蚀机成功面世并推向市场，使北方微电子成为国内首家LED高端设备供应商。

赵晋荣领导北方微电子公司的精锐研发团队进军LED刻蚀机领域，立足北方微电子公司在IC领域积累的经验，抢占国内LED产业发展的先机。2010年公司自主研发的ELEDER330
LED刻蚀机成功面世并推向市场。ELEDER330开发之前，国内市场上采用的都是进口设备。凭借赵晋荣对设备“稳定的设备性能，卓越的本土化服务，完善的售后服务保障体系”的定位，北方微电子在国内LED行业迅速建立起良好的品牌，实现了LED刻蚀机在国内LED主流大厂的批量销售，打破了多年来LED行业关键设备被国外进口设备垄断的局面，使北方微电子迅速发展成为LED领域的知名本土品牌，成为国内LED设备领域标志型企业。

2012年，在赵晋荣的带领下，北方微电子在LED领域取得了更多的突破，iTops透明电极溅射沉积系统顺利问世并快速获得了市场好评。目前市场占有率超过50%%的ELEDER330刻蚀机也完成了多个系列产品的发布和技术升级，成为生产线标配选择产品。

目前，北方微电子主要产品已形成了稳定的销售规模，拥有了较高的市场知名度、一定的市场份额和客户忠诚度。作为微电子领域高端工艺装备的佼佼者，北方微电子将遵循“精良品质、卓越服务、中国制造”的公司宗旨，持续进行以客户为导向的创新，以高品质的设备、极具竞争力的价格以及卓越的服务赢得国内外用户的信赖，努力成为一家具有国际影响力的高端装备及工艺解决方案提供商。