中船重工718所副所长王少波：加强技术研发 保证配套系统的一致性

我国半导体材料产业在02专项的支持下，近几年的发展取得了可喜的成果。国内部分半导体材料开始走向世界，参与国际竞争。不过目前仍有许多关键核心技术掌握在国外大企业手中，这导致国内企业在竞争中仍存劣势，没办法彻底扬眉吐气。半导体厂建设时，基本采用的都是进口设备和材料。因此，半导体厂对切换为国产材料都非常慎重，很多半导体厂不愿承担更换国产材料的风险。要推动材料国产化，第一，要有国家政策的引导;第二，半导体企业要有保障长期稳定安全供应材料的长远考虑;第三，材料企业要有稳定可靠保证材料质量的管理体系、经验和业绩，在技术、价格上要有核心竞争力;第四，半导体厂高层要重视材料的国产化，各部门工程师才会有力推进国产材料的测试。

国内的半导体材料企业目前在各领域都涌现了一批杰出的团队，但存在各自为战或者所从事的领域相对单一的问题。以718所为例，在三氟化氮和六氟化钨方面在国内处于领先地位，在国际市场上也有较高的知名度和影响力。但是与国际大型气体公司相比，产品相对单一，尚无法达到领军整个半导体用气行业的地位，这也是国内材料企业普遍存在的问题。现在，各个企业已经认识到了产品相对单一的问题，正在不断加大人员、技术投入，以丰富自己的产品种类。718所从2013年承担国家02专项以来，先后增加了8种高纯气和20多种混合气的研制和生产，与此同时，我们也与国内外其他气体公司合作，开展代理业务，以国际一流的半导体公司为目标，开拓研发、生产、销售全部半导体气体业务。

国内半导体材料企业要进入下游代工企业的配套体系应注意以下几个方面。第一，要不断加强自身建设。加强品质、安全等各方面的管理，时刻以国际化大公司的姿态要求自己，加强客户对国产材料供应商的信心。第二，换位思考。要考虑如何能够更大程度地减轻客户的负担，提高客户方的工作效率。第三，加强技术研发，保证各配套系统的一致性和连续性，同时，需要考虑客户的应用便利性。

为避免材料企业之间同质化竞争，建议由国家相关部门牵头成立行业联盟，除了在服务企业产业方面程序透明化，还可以积极发挥其在产业发展的引领作用。联盟可委托成立产品质量监督检测机构，开展材料质量监督检查和抽查，根据检查结果对材料企业进行认证，对同一品种材料建议政府只给一定数量企业发放许可证。联盟可以向企业做好宣传发动工作，鼓励自主创新，同时将企业的意愿和建议及时反馈给政府;发挥专业优势，开展对行业的调查研究，发布有关报告，指导产业发展，避免同质化竞争。政府可通过研究课题的形式，委托联盟做产业规划和发展战略，为政府进一步决策提供参考。