KLA全球显示事业部总裁托马斯·贝利： 精确检测对降低成本和提高良率至关重要

由四川省人民政府、工业和信息化部主办的2022世界显示产业大会于11月30日—12月1日在四川省成都市举行。会上，KLA全球显示事业部总裁托马斯·贝利表示，人们正处在信息、通信和娱乐变革之中，新技术的不断涌现以及分辨率、对比度和刷新率的提高让显示器变得无处不在，并将继续改变我们与周围世界的互动方式。

人们对新型显示器功能的巨大需求推动整个显示器行业不断创新。他表示，Micro LED是显示行业的一项新兴技术。Micro LED制造的主要挑战是控制良率并降低生产成本。Micro LED显示器制造流程复杂且耗时。因此，精确检测和制程控制对降低成本和提高良率至关重要。Micro LED的整体良率等于制造过程中各个独立环节良率的乘积。Micro LED、背板和驱动芯片生产的每一个环节都需要单独检测，以确保高良率。因此，要获得较高的整体良率，必须在每个阶段进行精确检测和测试。KLA的Micro LED检测和测试系统组合可为显示器制造商提供完整的端到端解决方案，用于Micro LED的制程控制以及良率管理。

托马斯·贝利表示，AR/VR有望在显示领域掀起一场重大变革，并实现广泛应用。AR/VR头戴设备的屏幕需要具备高PPI、高亮度和高刷新率以及极小尺寸、低功耗等特点，因而对显示产业提出了很大技术挑战。

目前，新兴的AR/VR显示技术是硅基OLED。封装对确保OLED显示器的耐用性十分关键。封装层比较薄，厚度通常约2微米，它能保护底层OLED材料免受氧气和湿气的破坏，其质量和显示器的寿命高度相关。

要获得高良率，应采用高灵敏度的检测结合2D和3D缺陷定量，用来严格控制工艺。KLA的解决方案是将在线3D缺陷定量纳入到快速无损检测中，满足用户对显示产品生产质量的把控要求。

托马斯·贝利在演讲中表示，KLA Display为各种新技术提供工艺控制解决方案。光学检测是显示产品的关键工艺控制解决方案之一。KLA是电子领域光学检测的主要供应商。“我们全新的Opto SPECT技术利用新型传感器，能够进行多重检测。这样可以确保显示器所有区域（显示区、衬垫区以及它们之间的过渡区）的所有缺陷类型均会被有效检测出来。”托马斯·贝利说，另一个关键工艺控制解决方案是电气测试。KLA Display最新的电气测试仪集成了全新传感器，能够实现超高灵敏度。此外，KLA Display的全新Electro SPECT解决方案能够全面检测所有关键层（包括数据层、最终层和触摸层）中的点、线和电气类Mura缺陷。Electro SPECT解决方案经过实践验证，适用于所有世代产线。

在演讲的最后，托马斯·贝利指出：“我们的核心价值观基于三大支柱：协作、创新和执行力。随着提高良率变得愈发困难，我们持续为整个电子价值链（从半导体和先进封装到印刷电路板和显示器）开发工艺控制和工艺赋能的解决方案。”