肖劲松：履行对柔性OLED显示的承诺

为了加强海内外产业和技术交流，深化全球合作，促进中国和全球显示产业携手发展，中国光学光电子行业协会液晶分会继续与日经BP社携手，于2015年10月13日、14日在北京民航国际会议中心举办中国•北京2015国际显示产业高峰论坛(Display Innovation CHINA 2015/Beijing Summit )。以下为应用材料公司副总裁兼总经理肖劲松发表演讲。

应用材料公司副总裁兼总经理 肖劲松

以下是演讲实录：

肖劲松：首先感谢主办方给机会与大家分享我们对行业，尤其是柔性OLED技术最新进展和应用材料技术的解决方案。

我的第一份工作在25年前加入中国的显示器行业，25年里跟大家一起见证了显示器行业中国蓬勃的发展，也跟这个行业一起成长。

我们是纳斯达克上市的公司，有一些前瞻性的技术和市场的陈述。大家对AKT很熟悉，但是对母公司不见得很了解，应用材料是一家全球领先的半导体跟显示器的设备公司。2014年营业额是91亿美金，跟其他的高科技公司一样，把整个营业额的15%%以上，14亿美金用于研发上的投入，是一家以技术创新奠定市场地位的公司。全球有一万四千名员工，专利有超过一万项技术专利。

AKT是显示产品事业群，主要致力于做全球领先薄膜沉积和检测设备，设备上囊括所有显示器薄膜沉积的应用领域，今天讲最新的OLED显示领域。

全球的CES展会上，我们看到全球智能手机和智能手表上大量应用了OLED显示器，包括中国在内的显示厂商应用更加色彩绚丽的AMOLED。中国面板的客户都纷纷提出了比较激进的投资计划，相信中国OLED投资和应用的浪潮已经来临，相信会给中国的产业提供绝好的技术创新跟商业拓展的机会。

根据预测，今年在智能手机OLED面板占到总量的18%%，中国整个OLED面板占全球智能手机应用的比例是3%%，中国对OLED在智能手机应用上起到很大的推动作用。到2018年OLED面板占智能手机比例是四分之一以上，智能手机出货量拉动OLED主要的增长，OLED需求量未来的三年估计会翻倍。其中柔性的OLED是智能手机行业里增长最快的部分，预测到2018年OLED出货量柔性显示占了三分之一以上，平板显示上技术大的趋势，电视和手机尺寸不断的增长，分辨率基本上两年翻一倍的速度，色彩的鲜艳度要求越来越高，OLED推动很多新的形态，可弯曲、可折叠的手机也会很快的出现，终端技术要求的变化带来了整个对显示器技术上的变革，从薄膜晶体管、一直到金属氧化物，移动显示屏的变化从LCD转到OLED，从最开始刚性的OLED转到更多柔性的OLED被采用。行业技术节点客观上要求要统一技术路线，进一步促成面板制造商跟上游设备材料供应商通力合作，共同面对技术上的挑战。

OLED器件技术上的挑战，应用材料提供怎样的解决方案?OLED显示屏的剖面图，前板主要的构成是OLED发光层和后面薄膜封装层。核心制造技术最主要的是基于RGB精确图形和沉积的技术，材料本身使用寿命的改善，尤其是蓝光材料的改善，对柔性制造，如何做出可靠的剥离技术，最终是做好OLED以后如何做柔性OLED薄膜封装。

背板如何做出可靠的新型晶体管，达到高迁移率的要求，如何做大规模的量产LTPS和金属氧化物，最终把新型的晶体管做成大尺寸的TV。

应用材料公司基于技术的积累，可以提供柔性OLED薄膜封装，LTPS和金属氧化物所有的薄膜沉积设备和工艺。背板的技术用的最多的是金属氧化物，这个领域提供金属氧化物用CBD，CVD如何做高均匀性的氧化硅，这样保证半导体膜层有初始的VTS，有长期的稳定性。PVD，最重要的是把半导体做的很均匀，有低颗粒度的生产环境，最重要生产出没有色差的产品来。现在所有全球金属氧化物的客户都采用了我们的技术，主要四家金属氧化物的客户也采用了PVD的技术。

对于移动设备大部分客户是用LTPS，因为拥有更好的迁移率，实现更高的分辨率，对于高分辨率的LPTS来说，如何把机器做大，这样要减少电容的面积，要磨的更薄，这样需要做更高配置的绝缘层，AKT可以提供高配置的膜层，因为更高分辨率均匀性要提高到3%%以下，颗粒度的要求提高到原来的两倍以上，所以要有低颗粒度的设计。晶体管要做的更小，也要做到低颗粒度，所有的PVD的设备上采用了相应的技术，以此来提升均匀性。

CVD的领域全世界60%%以上的客户使用我们的产品，OLED领域90%%以上客户使用我们的产品。在ITO领域也取得了一些业务上的实际进展。

封装业界通常的做法是用有机和无机材料多层的膜系来进行水气和氧气环境的阻挡，我们提供应用于阻挡层沉积的设备，我们提供业界最好的阻水性能，满足柔性显示的要求，薄膜封装的膜系和设备通过了客户的寿命实验，并且应用于大规模的量产。今天凌晨应用材料发布了最新用于OLED ，包括TFE、20KTFE 基本上囊括了业界OLED薄弱封装的技术要求。

最近的投资集中在OLED的移动显示上的应用，我们的六代两切的产品，尺寸是925*1500mm，系统结构采用心形结构，基本上划五个工艺室，其中两个装卸载室，OLED是在线生产，基本上是连续走过CVD的设备，模板有专门的储存室，系统本身的优势，提供更好的阻水性和膜厚的均匀性，这是在线的生产，整个系统是低颗粒度的设计，系统的稳定性得到了生产的验证。模式开发取得了很多的进展，核心的技术包括颗粒的覆盖，做下一层阻水层的时候把表面做的很平坦，AKT开发了新型的技术，采用了非工学性的表面轮廓，下一层阻水层附着以前做出平坦的表面，颗粒的覆盖保证对周围没有孔隙，这样保证没有热点，避免膜层的开裂，透光率达到了85%%以上。

基于工艺上的进展，未来会提供更新的柔性OLED解决方案，这是AKT单机全TFE膜系，现在是在线串型的工序，相信新的解决方案会大幅度提高OLED工厂的生产效率，也开发了更薄的TFE膜系，这样可以满足下一个时代OLED量产的要求，并且对可折叠、可缠绕的膜系都有一些适用性。

中国形成了完善平板显示的产业链，国美、苏宁，形成了高效销售渠道，显示器的品牌，手机、TV整机都形成了全球前五大的品牌，也有自己的品牌与渠道。面板的制造占了全球产能的将近20%%，比例未来两年还会提高，设备领域把自己定位成专业的平板显示设备制造商，提供最基本的薄膜沉积的设备与工艺给予到中国平板显示的产业。

应用材料中国深耕了31年，从半导体设备开始，在中国有超过900个售后服务和销售员工，在所有的中国面板厂旁边都有售后服务的网点，在中国按照地域分布，设立了再加工的工厂，及时做备品备件和返修业务。

创新+合作=共赢，一开始十年前就是纯粹的设备供应商，三年前在探讨跟行业做深度的技术合作，基本做法是设立显示器行业认为比较通行的技术路线，技术路线通过技术研讨会为中国客户做交流与对接，双方的首席技术官确定应用开发的项目，合作开发过程中完全核心工艺到客户端的转移，是以研发和设备升级的方式来做，一旦转移完成以后，跟客户会做中试验证，量产可以做出开发，客户买我们的设备对工艺设备有了深刻的了解，通过技术合作的循环，我们认为找到了行之有效跟中国客户技术合作有效的模式，可以加速客户新技术的引进和新品上市的时间。

在金属氧化物的技转都做到了，希望薄膜封装领域也可以重复这样的模式。

随着移动设备需求的增加，中国会迎来加速OLED技术跟投资加速发展的阶段，应用材料提供所有的TFT背板和薄膜封装的解决方案，在中国也建立完整的售后服务和技术服务模式，希望跟中国的平板显示客户一道共同迎接OLED在中国的发展，谢谢大家!