陈霖新：国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据

2009年10月16日,由工业和信息化部、江苏省人民政府指导，中国电子报社、无锡市经济贸易委员会、电子工程标准定额站、无锡日报社承办的“2009中国（无锡）洁净工程高峰论坛暨《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008解读”在无锡锡州花园酒店举办。
图为《电子工业洁净厂房设计规范》主编、中国电子工程设计院原副总工程师陈霖新在论坛上演讲。

陈霖新：各位朋友、上午好，我今天跟大家简单介绍一下《电子工业洁净厂房设计规范》简单的情况，今天给大家说的标题是国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据。因为不管是扩建厂也好，还是改建厂也好基本规范都是应用的。任何一个工程建设设计是先行，首先搞好设计，只有搞好设计，后面的程序才走的顺，走的好，所以这里说《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据。

现在在我们国家可能有很多人以为，比如说设计的时候，很多在设计依据里面第一条是建规，也把洁净厂房写进去了，这两个来讲主要写哪一个，我可以回答大家的首先要执行《电子工业洁净厂房设计规范》，当然建规也要执行，这个规范里面没有说到的问题，你要执行那个。如果我这里说到的你首先执行这个规范，为什么讲重要依据，先把这个讲讲，因为在很多地方在进行消防检查的时候，首先都是执行建规，任何一个工程必须要执行建规，建规对建设防火等各个方面的规定，从消防的水系统设计等很全面，我们在制订《电子工业洁净厂房设计规范》的时候考虑到这种电子厂房的特点，针对这个特点制定了消防方面的规定，如果说这些规定和建规有冲突的时候，就要执行这个。

我们这个编写组在这个问题一开始很重视，为什么编这个规范，就是因为从2000年左右，华虹NEC建设开始，到后来的TFT、京东方等新厂的建设都存在一个问题，原来的50073和建规里面的有关防火分区等各个问题都不能适应电子工业洁净厂房的特点。比如说由于洁净厂房的特点，有很多的易燃易爆和有毒的气体和化学品，因此这里有专用的房间，这里的摆放建规里面是不能解决的问题，所以针对这一点，我们编写组在进入的时候，就是想把这个问题解决。最近合肥上半年又开了一次，因为这个规范刚出来，安徽省消防总队他们认为应该执行建规，或者两种都要执行，所以七月份开的时候我去了，并且我特意请了建规管理组的负责人，就是建规50016的负责人一起参加这个会，主要那个会解决这个问题，就是说我们电子洁净设计厂房这两种规范首先执行哪一个，首先执行这一个。因此在合肥京东方的消防论证会上大家写纪要的时候，第一条就是TFT设计首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472等规范的要求。在座的你们如果说以后在遇到这个问题，也要很明确首先要执行这个规范。

下面我讲今天写的内容，国家标准对洁净厂房有三个标准，一个是今天下午要仔细讲的《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472，还有《洁净厂房设计规范》GB50073 还有一个规范是《医药工业洁净厂房设计规范》GB50457。

第一本规范是在85年实施，由于这个发展我们在2001年对GB77384制定进行修订出现GB50073，这里面最大的差别有两点，第一点洁净度等级不是按照209，而是按照国际标准分为九级完全和国际接轨。我们是2000年的12月份审查通过的标准是2000年5月份开始实施，事情很巧，美国人对于FS209在2002年下半年宣布作废，不在使用，

第二个不一样是扩大，这本标准适用于所有的洁净厂房，对于这个问题也出现一些问题，就是在强调，由于我们国家编标准的习惯，对强制性标准的内容很多，具有法规性的内容超出了这个内容，但是改编这个很困难，所以大概在96年左右国家在强制性标准里面又要有强制性条文和规定性条文。因此我们GB50073出来以后，就有了很多强制条文，下午我们会讲到这些问题，强制性条文出来以后，对电子行业来讲有些强制条文一些问题不是太大，但是也有一些不是很合适。

针对电子洁净工业厂房的特点，有关易燃易爆的化学品、气体的规定，这些规范里面没有写，所以这种情况下，我们在2002年GB50073提出一个问题，就是50073能不能在编补充的规范，后来在这种情况下，2005由我们刚才说的标准定额站和我们院里向建设部提出能不能编写建设厂房洁净设计规范，初衷是编写行业标准，后来建设部改为国家标准。这三个标准的关系是这样的，如果电子工业洁净厂房首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》这里面相关规定，在这个规范里面如果50073一样的我就不写了。同样《医药工业洁净厂房设计规范》也是一样，如果跟50073不一样的就另外写，如果一样的就依据50073规定。所以说这三个规范的关系你是电子工业首先执行《电子工业洁净厂房设计规范》你是医药工业首先执行《医药工业洁净厂房设计规范》，如果没有讲到的，按照GB50073执行。

下面洁净技术是一门综合技术，是(生产工艺技术+工期净化+洁净建筑)+高纯物质，这里边我想是一个理念问题。对于电子行业讲还有一个排风问题，可是排风处理不好，洁净也运行不好的，大家一定要建立一个理念，今天的技术发展，洁净技术必然是综合技术，你在思考建一个洁净厂房的时候，也是这次编写《电子工业洁净厂房设计规范》主导思想就是要把这个规范辩称适应洁净技术是一本综合技术发展需要来制定。电子产品尤其是微电子产品生产依赖于洁净技术的发展，或者说洁净技术的发展是微电子产品的更新换代的需要和促进的结果。在座的可能有搞半导体的，现在洁净技术的发展或者说现在9个洁净度等级怎么来的，是电子工业的需要。所以洁净技术和微电子生产，微电子技术的发展是互相以来互相依存、互相促进的。

下面电子工业的特点，一是严格的空气洁净度和各类杂志的控制要求。二是以微电子产品生产为代表的电子产品生产过程的连续性和自动化程度的不断提高、完善以及高精密制造设备的日益广泛应用。三专业技术的严格控制要求，电子工业洁净厂房一般应具有下列功能设施：净化空调系统、专用净化设备、洁净建筑及装饰、噪声控制、防微振、防静电、防电磁干扰、电器、照明、高纯物质—高纯水、高纯气、高纯化学品供应，安全、报经系统、节能设施、通信设施等。四是以微电子产品生产为代表的大面积、大空间、大体量的洁净厂房相继建成、并日渐增多。我们初步统计五千平方米以上的大面积、大空间、高度是在15米以上，这种洁净厂房我们国内大陆大概有二三十家。因此由于大面积、大空间、大体量的洁净厂房就为电子工业洁净厂房带来了许多许多的问题，这里不详细说。其实还有一个尤其是第四个特点引出一个能耗高的问题，我曾经跟国家搞能源的院士说，你说我们电子工业要求多少电，他说用多少，也就用一两万了不起了吧，我说大概在十几万，所以这个能耗就很大了。

由于具备上面的特点，现有国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073中有关规定已不能满足需要，尤其是涉及化学分子污染物的控制、安全、消防等方面的规定，如洁净建筑防火与疏散，易燃易爆气体和化学品的储存输送、安全消防报警设施等。

电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据，结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况，广泛的调查研究、收集整理相关的专题报告、测试资料，认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验，广泛征求了国内有关单位的意见，集思广益进行制定。

现在有五次征求意见会在上海、北京、深圳都举行了征求意见会，还有我们写了很多专题报道，这里说到的我们把NFPI318翻译中文以后，在318里面的内容在里面采用了一部分，对国外标准是这样的，318大家都知道这个规范，这个规范在美国叫消防标准，他针对的范围就是半导体工厂，他是这样写，把半导体生产许多安全问题全写到了，我们这里只吸了一部分进去。

《电子工业洁净厂房设计规范》共分15章和4个目录，其中强制性条文有将近50条，在规范中凡是用黑体字标准的条文必须强制执行。所有的电子工业洁净厂房设计建造的单位和相关科技人员都应该认真执行、实施规范中的强制性条文、推荐性条文的各项规定，使电子工业洁净厂房的设计、建造有法可依、有章可循。

这里面我要介绍一下强制性条文，具体内容下午再说，对强制性条文需要在座的设计单位、工业企业和工程公司大家一定要重视强制性条文，强制性条文不仅仅是你在设计当中单位进行审查和对照的，并且以后在投入运行的时候，特别是中间有关安全、消防的条文在工程建设的时候，说不定什么时候冒出一个问题，这样验收就很难成功。

GB50472的实施，将有效地避免因设计时洁净技术措施、安全消防设施等的设置要求不明确、不一致造成工期烟雾或措施不当、引发的产品质量下降或安全隐患;有效的避免因电子工业洁净厂房设计时各专业技术的不协调、不完善，引发的工程设计的差错一直设计事故。在座的都是工厂，你就不希望由于设计的差错引发设计事故甚至以后事故的发生，所以我们作为规范编写，力求把现在已经看到的有关消防安全和应该遵守的条文写进去，希望大家认真的实施，能够有效的避免这些情况的发生。严重时使建成的洁净厂房运行效果差、影响产品质量和安全可靠性差。这种规范实施我就希望从今年7月1号开始实施，希望大家能够把这个规范真正成为国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》是设计建造电子工业洁净厂房的重要依据，希望你们在建造的时候把这种规范作为依据，有关强制性条文下午再跟大家做一些介绍，谢谢大家。

主持人：感谢陈总的精采演讲，下面我们有请中电二公司的总工程师施红平为我们介绍电子洁净厂房的施工特点。

会议直播：http://www.cena.cn/pinpai/neibu/2009-08-21/125083374033733.shtml