北方微电子总裁赵晋荣：工艺研发指导设备研制

北方微电子公司分别于2008年开始承担02专项“12英寸65nm硅刻蚀机研发及产业化项目”和2009年开始承担“12英寸65nm～45nm铜PVD设备研发项目”。其中65nm硅刻蚀机已经完成中芯国际生产线的全部工艺考核和认证，各项技术参数均达到国际主流设备水平；65nm～45nm铜PVD设备也依照项目计划节点进行工艺测试。65nm刻蚀机的研发成功标志着我国集成电路核心高端装备制造再次取得了重大突破，进入国际先进行列。

承担02专项提升企业竞争力

通过承担国家02专项，北方微电子的核心研发能力、产业化能力和产业协调能力均得到较大的促进和提升，尤其是非常注重科研成果的产业化，而且在技术扩展和应用方面已经取得了骄人的成绩。拥有完全自主知识产权并成功应用于LED领域的图形化衬底ICP刻蚀机和GaN刻蚀机已经批量销往国内多家主流LED芯片工厂，其各项技术性能均达到或超过国际先进水平，已经成为LED芯片主流生产线的标配设备；自主开发的应用于光伏领域的晶硅太阳能平板PECVD设备填补了国内此领域的空白，正在大生产线上进行最后的批量流片测试；通过国际合作研制的全自动大产能MOCVD设备也进入最后的组装阶段。
在研发成果产业化过程中，我们面临的最大挑战和困难是产品进入市场时不容易被大生产线客户认可。集成电路制造产业投资巨大，工艺技术门槛高，芯片企业往往对新进入该领域的国产设备信心不足，评价和使用国产高端新设备既要花时间，又承担着极大的技术风险。国际主流集成电路设备之所以价格昂贵，设备公司出售的不仅是设备，还有工艺技术、售后服务以及技术升级。以大规模生产为目标的芯片工厂很难向没有这种综合能力和业绩的设备公司购买产品。
北方微电子为取得主流芯片工厂的认可，除了采用通过自付生产测试费用进入大生产线进行工艺验证以建立客户信心之外，还聘请海外业界一流专家团队主导产品及工艺开发，以及实施产品国际安全认证，全面建立信息化市场化管理体系，实现了对设备制造及客户服务各环节的快速反应及协调能力，尤其是先进工艺开发、技术培训以及售后服务方面远超国外水平，得到了客户的较高评价。

与大生产线紧密结合

在产品研发工作中，我们最值得分享的经验是采用了“以满足大生产线工艺需求为牵引，以满足大生产线使用为目标，以实现产品的批量销售为宗旨”的研发模式。
集成电路装备最大的特点就是对工艺指标有严格的要求，这里的工艺指标不单指某一个技术指标，而是指综合的工艺指标体系。就刻蚀机而言，设备在进入市场时，不仅要满足客户对于整机性能指标的考核，更要侧重对设备应用能力、工艺窗口大小和稳定性的考核。如果仅依据企业内部经验和资源进行工艺实验和结果评测，设备很难适应集成电路产业产品类型快速发展所带来的工艺需求日趋多样化的要求。北方微电子在设备研发初始就创新性地提出了“工艺研发指导设备研制,与大生产线紧密结合”这一科学的技术攻关路线，强调以生产线真正的工艺需求为牵引，直接开发出能满足芯片生产线使用的工艺技术，并在实现工艺能力的过程中不断完善设备软硬件设计，从而快速、准确地满足客户要求，开拓集成电路高端设备的应用市场。
在02专项的实施中，我们非常重视产学研用的结合，坚持以企业为主体，以产业化为目标，积极推动与多家大学和研究所的资源整合。公司以项目作为平台，通过资金这一纽带，吸引用户单位共同参与产品工艺考核与应用，加快科研成果转化，并建立多种形式、层次和领域广泛而紧密的产学研用关系，形成利益共享、风险共担的产学研用合作新机制。

（责任编辑：落雪）