Orthogonal.Inc事业开发副社长Victor Hsia：光刻技术可能替代FMM技术

10月23日-24日，由国家发展和改革委员会高技术产业司、工业和信息化部电子信息司、北京市发展和改革委员会、北京市经济和信息化委员会指导，中国光学光电子行业协会液晶分会、日经BP社主办的2018国际显示产业高峰论坛在北京举行。

Orthogonal.Inc事业开发副社长Victor Hsia出席会议并发表了名为《面向次世代有机EL的研发》的主题演讲。他表示，他们发现一些溶剂不会对有机化学品产生破坏，然后就开始开发整体的光刻技术，可以降低生产成本，提升OLED生产效率。

Victor Hsia表示，他们想让OLED发光发热，真正地被用上，无论是小尺寸OLED还是大尺寸OLED。他们想帮助显示器生产商的能力得到提高，生产成本得到下降。此外，他们还在进入新兴市场，例如，VR/AR、指纹感应器等。

光罩、彩色滤光片技术有很多限制，FMM技术限制了像素的进一步发展。OLED采用彩色滤光片效率很低，因为它的彩色滤光片会滤掉大多数光，所以很耗电。

Victor Hsia指出，光刻技术适应性比较强，既适合做小尺寸面板，也适合做大尺寸面板，不需要专门的设备或者流程。未来如果喷墨技术成功产业化的话，可以放在大屏幕上使用。光刻技术现在是一个标准的行业流程，TFT基板、彩色滤光片都要使用光刻技术。有的时候人们不了解光刻技术的好处，它可以支持高像素密度的面板制造。光刻技术之所以没有在RGB OLED上使用，是因为它在化学上不相融。一方面OLED不用水溶性材料，另一方面，酸性的液体会对OLED材料或者是非有机材料产生巨大的破坏。针对这个难题，他们用已有合格设备来解决它，通过不同的化学品来解决它，不会破坏OLED表面化学品。他们发现一些溶剂不会对有机化学品产生破坏，在那之后他们就开始开发整体的光刻技术。

Victor Hsia表示，目前，很多的钱都花在OLED上，很多的设备都做起来了，想方设法让OLED的像素形成图案，现在已经有技术可以做到了，但是这些技术是有局限性的，所以他们希望研发出一种更好的技术。他们的客户也渴望听到更好的替代解决办法。他们将光刻技术解决方案与FMM技术进行对比，能够实现更好的像素，更好的性能，更好的平面均一性。使用FMM技术会有很多有机附着物，需要清洁。而他们的解决方案更加简单，一次性使用一个掩模，一旦完成像素之后，直接把它揭下来，所以每一次都能产生完美的结果，因为它不会产生任何的坏点和修复。

他们的做法是在基板上先涂层，之后再加一个抗光的光刻涂层，然后把它放在紫外线照射，受到光照的部分特性发生变化，没有受到光照的部分不变，形成一个个孔，即像素，最后在上面再加上含氟的化合物，这样话就可以实现抗光性。

Victor Hsia指出，他们的解决方案可以降低成本，只要现在6代线一半的成本。因为他们解决方案不需要很高的配置，只需要非常简单的工具，它的成本要低于正常的一些机器设备。他们的方案还有一个好处就是不用半切，10.5代线、10代线、11代都可以用。如何才能降低生产成本呢？就是良品率，因为只要能够把良率提高1%，就等于获得2千万美元的额外收入。如果OLED良品率如果从85%提高到97%，实际上就意味着赚了很多钱了。